Ganzgenomextraktionssystem
keine Frist angegebenLandesamt für Natur, Umwelt und Klima NRW· Recklinghausen· Lieferung· Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)Wert k. A.
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Plasma Ashing System
keine Frist angegebenEU-weit (Oberschwelle)
- Auftraggeber
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
- Ort
- Garching · München, Landkreis
- Branche (CPV)
- 38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
- Auftragsart
- Lieferung
- Sektor
- Bildung
- Geschätzter Wert
- Wert k. A.
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Veröffentlicht
- 25.10.2026
- Abgabefrist
- keine Frist angegeben
Leistungsbeschreibung
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
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Datenquelle: oeffentlichevergabe.de (OpenData). Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung der jeweiligen Vergabestelle.