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Atomic Layer Deposition (ALD) System

keine Frist angegeben
EU-weit (Oberschwelle)
Auftraggeber
Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
Ort
Garching · München, Landkreis
Branche (CPV)
38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Auftragsart
Lieferung
Sektor
Bildung
Geschätzter Wert
Wert k. A.
Verfahren
Offenes Verfahren
Veröffentlicht
25.10.2026
Abgabefrist
keine Frist angegeben

Leistungsbeschreibung

Das Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (WMI) wird ein Atomic Layer Deposition (ALD)-System zur Herstellung integrierter Quantenschaltkreise erwerben. Das System sollte in der Lage sein, dreidimensionale Strukturen wie zum Beispiel TSVs (Through-Silicium Vias) mit hohem Aspektverhältnis (durch ALD-Wachstum) mit einem hochwertigen supraleitenden Film konform zu beschichten.

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Datenquelle: oeffentlichevergabe.de (OpenData). Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung der jeweiligen Vergabestelle.

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